電子槍電子槍是用來產(chǎn)生受控的電子束原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機(jī)CSF-58-50-2UH，并完成電子束的預(yù)聚焦和強(qiáng)度控制的裝置。

    C2)抽真空系統(tǒng)為了保證電子的高速運動，必須將真空室抽至1.3x10^-2-1.3x10^-4Pa的高真空度，否則無法避免電子原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機(jī)CSF-58-50-2UH與氣體分子的碰撞，影響電子的高速運動。除此之外，抽真空后可消除加工時由于金屬蒸汽的影響使電子發(fā)射不穩(wěn)定，抽真空后還可減小被加工表面的污染。

    }3)電子束控制系統(tǒng)電子束控制系統(tǒng)包括束流強(qiáng)度控制、束流聚焦控制及束流位置控制。束流強(qiáng)度控制是通過改變加在陰極上的負(fù)高壓〔50一150kV以上的負(fù)高壓)來實現(xiàn)的。為了避免加工時熱量擴(kuò)散至工件的不加工部位，常使用間歇性的電子束。所以加速電壓應(yīng)是脈沖電壓。束流聚焦原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機(jī)CSF-58-50-2UH控制是通過“電磁透鏡”的磁場作用，使電子束流壓縮成截面直徑很小的束流，以達(dá)到提高電子束的能量密度。有時為了獲得更細(xì)小的焦點，須進(jìn)行二次聚焦。束流位置的控制是用磁偏轉(zhuǎn)控制電子束焦點位置的方法實現(xiàn)的，具體方法是通過一定程序改變偏轉(zhuǎn)電壓或電流，使電子束按某種規(guī)律運動。

    C4)工作臺系統(tǒng)電子束的偏轉(zhuǎn)〔移動)只能在幾原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機(jī)CSF-58-50-2UH毫米范圍之內(nèi)調(diào)控，移動過大將會降低工件的加工精度，因此需用伺服電機(jī)控制工作臺作縱橫兩個方向運動來獲得工件的更大移動范圍。